第57章 从零到一(1 / 4)
宿主大人,新的剧情任务已开启。
💎 自动续章
开启后章尾自动进入下一项剧情任务
💎 开启系统续章
剧情到底自动跳转,宿主不必手动操作。
復大物理楼考场內。
李东皱著眉头审题
“系统匀速扫描……浸没液瞬態温升……”
他在草稿纸上写下了几个流体力学和热传导的核心参量。
“要去解决水的问题呀!”
“用微流控主动散热系统怎么说?”
“可以在晶圆台上方建个高频的循环流道,把热量瞬间带走。”
李东刚想到就立刻否决了。
“不行,不行。”
“晶圆台的扫描速度至少1200mm/s,单脉衝雷射带来的浸没液瞬態温升时间都是微秒级的,循环流控的热响应速度根本追不上。”
“而且还要把局部温升控制到 以內,才能满足线宽要求。”
“100万可能搞不定吧。”
李东真·挠了挠头,尝试用第二个角度切入。
“那自適应光学补偿呢?在光路中加入可变形反射镜,实时测温然后抵消光程差?”
李东摇了摇头,再次否决。